5月27日,记者走进位于经济开发区的中科钢研碳化硅产业园,看到项目二期生产车间和机修车间等钢结构主体已完成,工人正在进行外墙安装。项目投资10亿元,占地83亩,主要产品为4—6英寸碳化硅晶体衬底片,其研发的大尺寸碳化硅晶圆衬底片填补了国内相关领域空白。目前,一期工程洁净车间已交付,预计设备6月底进厂安装。
中科钢研碳化硅产业园一期设备
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